Инженерный расчет режима лазерной возгонки отверстий и скрайбирования. Часть 5

Предельная глубина канала, возгоняемого в непрозрачном материале в условиях автоканализации, прямо пропорциональна логарифму отношения мощности лазерного излучения к пороговому значению мощности, необходимой для нагрева поверхности материала до температуры возгонки, и обратно пропорциональна произведению тангенса угла вхождения луча в материал на логарифм коэффициента отражения. С уменьшением угла вхождения одновременно увеличивается величина коэффициента отражения, что ведет к заметному увеличению глубины канала.

Как уже упоминалось, для реализации явления автоканализации обрабатываемый материал должен иметь вполне определенные свойства, обеспечивающие хорошую отражательную способность стенок образуемого канала. В некоторых случаях решающую роль играет плотность мощности лазерного излучения. Так, например, при плотности мощности порядка 25 кВт/см² в обычном многокомпонентном стекле образуется жидкая ванна, препятствующая автоканализации лазерного излучения. В то же время такое значение плотности мощности обеспечивает эффективную автоканализацию в кварцевом стекле и в оргстекле. Это объясняется отсутствием жидкой панны благодаря близости температуры плавления к температуре возгонки (для кварцевого стекла) и низким значением пороговой мощности (для оргстекла). При большей плотности мощности или при устранении каким-либо способом жидкой ванны (например, путем ее выдувания газовой струей) автоканализация может обеспечиваться и в обычных стеклах.

В заключение следует отметить, что использование автоканализации лазерного излучения позволяет сверлить сквозные каналы в очень толстых образцах материалов. Практически были получены сквозные каналы в кварцевом стекле толщиной порядка 100 мм.

Инженерный расчет режима лазерной возгонки отверстий и скрайбирования. Часть 4 Лазерная резка стекла Разделение стекла методом управляемого термораскалывания

Инженерный расчет режима лазерной возгонки отверстий и скрайбирования